• Пост вакуумный универсальный ВУП-7 - общий вид

Пост вакуумный универсальный ВУП-7

Average: 9.5 (2 votes)
Под заказ

Связаться с менеджером

Пост вакуумный универсальный ВУП-7 предназначен для исследовательских работ по распылению металлов, полупроводников и диэлектриков с помощью: DC и RF магнетронов, термического и электронно-лучевого испарителей.

Варианты исполнения приборов ВУП-7 для поставки
Система откачки 01 02 03 04 05 06 07 08 09 10 11 12 13 14 15
Диффузионный насос,
220 V		 + + + + +                    
Турбомолекулярный
насос, 220 V		           + + + + +          
Турбомолекулярный
насос, 115 V		                     + + + + +
Устройства испарения 01 02 03 04 05 06 07 08 09 10 11 12 13 14 15
Магнетрон DC + + +     + + +     + + +    
Магнетрон RF + + + +   + + + +   + + + +  
Электронно-лучевой
испаритель		 + +   + + + +   + + + +   + +
Термический испаритель +       + +       + +       +
Держатель подложек
с нагревателем		 + + + + + + + + + + + + + + +
Ионная очистка
объекта		 + +   + + + +   + + + +   + +

Дополнительные устройства по требованию заказчика:

  • кварцевый измеритель толщины;
  • ионно-лучевые источники.

Преимущества

  • получает пленки металлов, сплавов, полупроводников, многокомпонентной керамики;
  • производит распыление с одного-двух магнетронов одновременно или последовательно;
  • позволяет комбинировать процессы распыления с различных физических источников без разгерметизации рабочего объема;
  • позволяет нагревать и стабилизировать температуру подложки;
  • позволяет вращать держатель подложки с заданой скоростью;
  • позволяет производить ионную очистку образца;
  • увеличеные габариты рабочего объема позволяют дополнительно размещать в нем несколько физических источников и средств контроля за процессами напыления;
  • высокая скорость осаждения;
  • получение особо чистых пленок;
  • высокая адгезия пленок и подложки;
  • возможность изменения структуры и свойств пленок;
  • возможность распыления нескольких материалов без разгерметизации объема;
  • низкая пористость пленок;
  • небольшое тепловое воздействие на обрабатываемую поверхность;
  • высокая энергетическая эффективность процессов.
Технические характеристики
Предельное остаточное давление в рабочем объеме, Pa:
  • с диффузионным насосом и азотной ловушкой
  • с турбомолекулярным насосом
 2×10 -4
6×10 -4
Диаметр мишени магнетрона, mm 52
Блок питания DC:
  • напряжение, V
  • ток, mA
 1000
500
Блок питания RF:
  • частота, MHz
  • мощность, W
 13,56
500
Блок питания ЭЛИ:
  • напряжение, kV
  • ток, mA
  • ток накала, A
 4
200
20
Блок термического испарения:
  • ток, A
 200
Температура нагрева подложки, °C 350
Скорость вращения подложки, rpm 5 — 15
Система напуска и стабилизации давления газа одноканальная (пьезонатекатель)
Размеры рабочего объема, mm 400×400×400
Масса прибора, kg, не более 380
Габаритные размеры, mm
  • стойка аналитическая
  • стойка электрическая
 690×610×1620
635×610×1150
Электрическое питание, V 380 / 220
Потребляемая мощность, kVA 4,5